Yn gyffredinol mae dwy broses driniaeth ar gyfer nwy gwastraff yn y diwydiant olew silicon
Hylosgi Thermol Adfywiol RTOaDull chwistrellu + arsugniad carbon wedi'i actifadu. Mae'r ddyfais trin nwy gwacáu yn cynnwys gwahanydd nwy-hylif, cyddwysydd dwfn, twr golchi asid, twr golchi alcali, hidlydd sych, ffwrnais hylosgi catalytig RTO a simnai wacáu.